Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho vi điện tử 1.000L/H đáp ứng các tiêu chuẩn ASTM và SEMI cho các nhà máy ngành công nghiệp bán dẫn.
Xử lý nước thô đến mức độ tinh khiết cần thiết trong sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi một chuỗi các quy trình tiên tiến và công nghệ xử lý nước mạnh mẽ để loại bỏ chất gây ô nhiễm, khoáng chất, vi sinh vật và các hóa chất hữu cơ và vô cơ vết, bao gồm cả các hạt nano khác.
Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho cho vi mạch điện tử 1.000L/H đảm bảo kiểm soát tốt các chỉ tiêu:
- Điện trở suất
- Oxy hòa tan (DO)
- Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC)
- Vi khuẩn
- Các ion
- Kim loại
- silica và boron
- Vật chất dạng hạt .
Quy trình xử lý nước cho vi mạch điện tử qua nhiều giai đoạn:
1. Tiền xử lý:
Nước được lọc qua bộ lọc hai lớp và sau đó qua than hoạt tính trước khi được làm mềm cuối cùng bằng nhựa cation, bước sau nhằm hạn chế nguy cơ đóng cặn và đóng cặn ảnh hưởng đến thẩm thấu ngược lần thứ nhất.
2. Xử lý nước bổ sung:
Phương pháp xử lý này bao gồm thẩm thấu thứ hai, khử TOC và khử Ion,
3. Vòng đánh bóng và phân phối::
Phân phối nước liên tục chảy xung quanh, do đó tránh được bất kỳ điểm ứ đọng nào, nơi vi khuẩn tái sinh, đảm bảo nước luôn sạch ion và TOC.
Thông số kỹ thuật:
- Công suất: 1.000 L/H
- Điện trở suất > 16 MΩ
- TOC < 50 ppb
