Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho bán dẫn và dược phẩm 500L/H tinh chế nước ở mức độ cao, loại bỏ hoàn toàn khoáng chất, hạt, vi khuẩn, vi sinh vật và khí hòa tan. Nước này còn được gọi là DIW (nước khử ion), vì tất cả các thành phần ion đã được loại bỏ.
Ngành công nghiệp bán dẫn sử dụng nước như một chất rửa trong nhiều giai đoạn khác nhau liên quan đến việc sản xuất các thành phần và chất lượng nước có tầm quan trọng sống còn đối với quy trình sản xuất (liên quan trực tiếp đến bộ nhớ, bộ vi xử lý và các mức độ loại bỏ sản phẩm khác).
Ngành dược phẩm sử dụng nước siêu tinh khiết để rửa, pha chế thuốc.
Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho chất bán dẫn và dược phẩm cần kiểm soát tốt các chỉ tiêu:
- Điện trở suất
- Oxy hòa tan (DO)
- Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC)
- Vi khuẩn
- Các ion
- Kim loại
- Silica
- Vật chất dạng hạt .
Quy trình xử lý nước:
1. Tiền xử lý:
Nước được lọc qua bộ lọc hai lớp và sau đó qua than hoạt tính trước khi được làm mềm cuối cùng bằng nhựa cation, bước sau nhằm hạn chế nguy cơ đóng cặn và đóng cặn ảnh hưởng đến thẩm thấu ngược lần thứ nhất.
2. Xử lý nước bổ sung:
Phương pháp xử lý này bao gồm thẩm thấu ngược lần thứ hai và khử Ion, TOC.
3. Vòng đánh bóng và phân phối::
Phân phối nước liên tục chảy xung quanh, do đó tránh được bất kỳ điểm ứ đọng nào, nơi vi khuẩn tái sinh.
Thông số kỹ thuật:
- Công suất: 500 L/H
- Điện trở suất > 17 MΩ
- TOC < 50 ppb
