Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho sản xuất chất bán dẫn 500L/H cho nhiều mục đích khác nhau, từ làm mát thiết bị, khắc ướt, xử lý dung môi và san phẳng cơ học hóa học đến làm sạch bề mặt wafer.
Hê thống máy dành cho vi điện tử và nước rửa bán dẫn loại bỏ chất gây ô nhiễm, khoáng chất, vi sinh vật và hóa chất vi lượng để tạo ra nước siêu tinh khiết (UPW) đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về mức độ tinh khiết cần thiết trong sản xuất.
Hệ thống máy lọc nước siêu tinh khiết cho sản xuất chất bán dẫn 500L/H kiểm soát tốt các thông số này bao gồm:
- Điện trở suất
- Oxy hòa tan (DO)
- Tổng lượng cacbon hữu cơ (TOC)
- Vi khuẩn
- Các ion
- Kim loại
- Silica
- Vật chất dạng hạt .
Quy trình xử lý nước nhiều giai đoạn:
1. Tiền xử lý:
Nước được lọc qua bộ lọc hai lớp và sau đó qua than hoạt tính trước khi được làm mềm cuối cùng bằng nhựa cation, bước sau nhằm hạn chế nguy cơ đóng cặn và đóng cặn ảnh hưởng đến thẩm thấu ngược lần thứ nhất.
2. Xử lý nước bổ sung:
Phương pháp xử lý này bao gồm thẩm thấu ngược lần thứ hai và khử Ion.
3. Vòng đánh bóng và phân phối::
Phân phối nước liên tục chảy xung quanh, do đó tránh được bất kỳ điểm ứ đọng nào, nơi vi khuẩn tái sinh.
Thông số kỹ thuật:
- Công suất: 500 L/H
- Điện trở suất > 5 MΩ
- TOC < 100 ppb
